提高洁净室能源利用率

或许洁净室过度建设和过高标准的现状即将成为过去，至少，目前Lawrence Berkeley Labs能源项目的研究员及经理Tengfang（Tim）Xu有办法改变现状。“理论上讲，气流速度每提高10%，风扇的能耗将增加30%。如果将各种设备等比例缩减到足够维持污染控制的最低能耗，将节省大量的能源。”作为环境科学与技术学院（IEST）“走近专家”系列课程的一部分，Xu最近通过网络开设了“洁净室设计与运营的可持续发展问题”。课程针对洁净室和微环境（ME）的规划、设计、建设、运营直到退出，从可持续发展角度提出了一些列建议和指导方针。  

     生产设备通常消耗整个洁净室1/3的能量，冷却和泵浦系统再消耗20%，空气循环系统消耗另外的20~30%。剩余的部分用于支持去离子水和其它生产用水的水泵、排气扇、氮气生成设备及其它辅助设备。洁净室不同区域实际空气流速和气体交换率可以存在很大差别，有些区域要求单向气流，而其它区域则不然。  
   Xu给出了一些实际的例子：几乎一半洁净等级为4级的洁净室还有一部分洁净等级为3级的ME都存在标准过高的问题，主要表现在当前工业准则中 ME的推荐气体流速和压强差。对风险的恐惧和过于保守的设计思想是造成这种标准过高的原因。最常见的想法就是既然某种方案从前可以工作，为什么还要去改变呢？Xu提出在洁净室规划阶段采用分级收集信息的方法，这样可以对计划的决策提供指导，并把能源消耗作为一项重要的参数考虑进去。同时，针对某些特定系统，Xu给出了一些建议方法（表），这些方法已被更新到IEST-RP-CC012.2中。他说：“更好地利用能源，会改善环境质量。对于洁净室来说，从一个产业的角度考虑，能源利用率、设备稳定性、生产效率以及未来的指导方针都会对现行方法产生很大影响。”   

       同时，Xu还鼓励让整个流程中的人员参与决策，共同确定诸如：系统的规模（工艺、机械以及电气相关人员），低气压压力损失（机械和结构设计人员），和设定具有实际意义的气体流速要求（机械和控制人员）。